美洲豹太阳能电池片烧结工艺
烧结方式:高温快速烧结
烧结过程
1、烧结是一个扩散、流动和物理化学反应综合作用的过程。在印刷状况稳定的前提下,温区温度、气体流量、带速是烧结的三个关键参数。
2、由于要形成合金必须达到一定的温度,Ag、Al与Si形成合金的稳定又不同,所以必须设定不同的温度来分别实现合金化。
3、将印刷好的上,下电极和背场的硅片经过网印刷机的传送带传到烧结炉中,经过烘干排焦、烧结和冷却烘干排焦、烘干排焦烧结和冷却过程来完成烧结工艺最终达到上下电极和电池片的欧姆接触。 烧结要达到的效果
1、正面Ag穿过SiNH扩散进硅但不可到达p-n;
2、背面Ag、Al扩散进硅。
烧结各温区作用
烘干区:使有机溶剂脱离浆料烧结区
烧结区:使电极、背场可形成良好的欧姆接触,减小串阻
烧结需要注意的问题
1、在设定温度的同时也要考虑到Al的沸点较低,当超过其沸点时,将有Al进入工艺环境。这些会扩散入电池正面的p-n处,对其发生破坏作用。
2、烧结时会有一定量的H从硅片中逸出,必然减弱H对硅片的钝化作用。所以要有激冷的步骤以避免过多H的逸出。
3、高温前,一定要保证浆料中的有机物已经经过烘干并挥发干净。
4、气流过小时会导致排风不畅,使工艺环境中存在大量有害杂质。各个温区的气流要保持平衡。
5、过快的带速和过大的气流会减弱高温的作用。
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